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有哪些波片加工的工藝

日期: 2023/5/20 3:00:00  來源:http://www.free-sky.cn/news942833.html

  定光軸

  一塊石英晶體,它的光軸方向與種子面基本筆直,磨平與光軸筆直的外表,在正交光顯微鏡下觀察黑十字干涉圖畫,滾動波片加工工作臺,如光軸不準,黑十字圖畫就不在視場中心,滾動工作臺時圖畫就會跳動。此刻微微撥動工件把黑十字圖畫扳到視場中心,確定批改角,重復幾次直至批改到黑十字圖畫在視場中心,即滾動工作臺時圖畫不跳動。此刻的精度完全能滿意圖紙上的要求。

  切割,與修定好的通光面成90°筆直切片,薄片厚度約小于3 mm,磨平外表,確保光軸平行于外表。認準基準面,再將石英薄片放余量切成條狀。

  首先是面磨砂拋光,將零件上盤。波片加工時要認準基準面,用剛玉粉精磨,加氧化鈰拋光。由于石英的硬度高,用氧化鈰拋光能得到理想的外表。榜首面的光圈小于一個圈。

  第二面磨砂拋光的好壞是確保零件精度的關鍵所在。

  把切成條狀的薄片光膠放在平行平板上,然后精磨。精磨階段有必要丈量波片的肯定厚度,而要丈量這樣準確的厚度,要用到讀數值為1μm的測厚儀。

  實際波片加工中,當厚度拋光大于理論值3~5μm時,就不再丈量其肯定厚度,而應經過試驗裝置進行實測。丈量用的光源波長要用波片將來使用的工作波長。用比較測角儀檢查平行度,要求雙像堆疊、光圈小于一個圈,這時候就可以下盤。

  旁邊面拋光,關于晶片還有一個特殊要求,即薄型波片的兩個旁邊面與外表要筆直,而且四條棱線要求鋒利,不能有缺口和毛邊。波片加工的難點是第二面的拋光,因為拋光第二面時,需求對厚度進行準確丈量與控制。丈量過程中需求準確判別厚度是“過頭”還是“缺乏”,以便采取相應措施加以批改。

  厚度過頭是指波片加工厚度已經稍薄于應有的厚度,但又與下一個厚度周期相差較大。呈現這種狀況時,就不能只是依托拋光來批改厚度,而是要從頭精磨后再拋光至下一個厚度周期。

  厚度缺乏是指波片的實際加工厚度稍大于應有的厚度。呈現厚度缺乏時,一般不用從頭研磨,而是直接依托拋光來減薄。


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